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发布于：2023.11.30
作者：施尔畏
内容简介：
本书系统地介绍了物理气相输运 (PVT) 法碳化硅晶体生长与缺陷研究方面的工作, 由碳化硅晶体的多型结构与表征、碳化硅晶体的PVT法生长、气相组分SimCn和碳化硅晶体的生长机制、碳化硅晶体的结晶缺陷四部分组成。
索书号：P578.94/SEW
馆藏地点：新馆、本部四楼书库
详细信息：http://opac.its.csu.edu.cn/NTRdrBookRetrInfo.aspx?BookRecno=759446
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